خواص اپتیکی و الکتریکی لایه های اکسی نیترید آلومینیوم با بار منفی

مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی عنوان انگلیسی: Optical and electrical properties of negatively charged aluminium oxynitride films عنوان فارسی: خواص اپتیکی و الکتریکی لایه های اکسی نیترید آلومینیوم با بار منفی چکیده لایه های نازک اکسی نیترید آلومینیوم (AlON) به وسیله مانیترون فرکانس رادیویی (RF) با برون پاشی در سوبسترای سیلیکون نوع n (Si) از جهت گیری با استفاده از گازهای آرگون (Ar) و اکسیژن در دمای سربسترای 450 درجه سانتیگراد ته نشین شده بودند. برای شناخت تغییر در خواص الکتریکی با نسبت گازها، یک رسوب گیری به مدت 140s در نسبت O:Ar انجام گرفته بود که از 1:3 به 4:3 تغییر کرد. بعد از آن، خواص الکتریکی ساختار نیمه رسانای عایق-فلز در AlON مورد تجزیه و تحلیل قرار